Thomas Elbel Mikrosensorik

Annotation

Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Losung der grundsatzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Megroen- wurde in den zuruckliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit vollig neuen Anwendungsmoglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zurich und aus einem Skript fur die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der metechnischen Praxis und in der angewandten Forschung tatige Ingenieure konnen das Buch zur Einarbei- tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verstandnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Fur Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die fur die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper Form dargestellt. Fur ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der fur alle Mikrosensoren gemeinsamen techno- logischen Grundlagen werden in den Kapiteln 3 bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be- schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der Art der Megroe.