Technologie der III/V-Halbleiter
III/V-Heterostrukturen und elektronische Hochstfrequenz-Bauelemente
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Fur zahlreiche neue Anwendungen vor allem in der Kommunikationstechnik sind die III-V-Verbindungshalbleiter die technologische Basis. Entsprechend wertvoll wird das Wissen uber die Herstellungstechniken von Bauelementen fur integrierte Mikrowellenschaltungen, denen dieses Werk gewidmet ist. Es wendet sich als Lehr- und Fachbuch an Studenten und Entwicklungsingenieure, denen der Einstieg in dieses Gebiet durch den methodischen Ansatz und den Verweis auf die aktuelle internationale Fachliteratur erleichtert wird. Besonders hervorzuheben ist die ausfuhrliche Behandlung von Halbleiter-Heterostukturen.
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